光催化氧化废气处理原理是在外界可见光的作用下发生催化作用,光催化氧化反应是半导体及空气为催化剂，以光为能量，将有机物降解为CO2和H2O。采用的半导体是目前反应效率高的纳米TiO2光催化剂,经由特殊处理后使用,达到理想效果；在光催化氧化反应中，通过紫外光照射在纳米TiO2光催化剂上产生电子空穴对，与表面吸附的水份（H2O）和氧气（O2）反应生氧化性很活波的氢氧自由基（OH-）和超氧离子自由基（O2-、0-）。能够把各种废臭气体如醛类、苯类、氨类、胺类、酚类、氮氧化物、硫化物、其它碳氢化合物及其它VOC类有机物在光催化氧化的作用下还原成二氧化碳（CO2）、水（H2O）以及其它无害物质，去除异味的同时还可以起到消毒的功效，因为在光催化氧化反应过程中无任何添加剂，所以不会产生二次污染。
光催化氧化废气处理技术：
从理论研究到实际应用，催化氧化法在废水处理和废气净化都是一项成熟的工艺，工艺有效性的枢纽在于紫外线的强度和催化剂的催化能力以及催化时间。从光触媒空气净化器到光催化废气净化设备，能够发现很多非常不科学的设计，例如废气在处理设备中的停留时间；催化剂的面积；催化剂的纯度和TiO2的纳米直径；催化剂的固化结构；紫外线灯的设置（数目、间隔），都直接决定和影响光催化氧化的能力。
光催化氧化废气处理特点:
1、适用性：光催化氧化适合在常温下将有机废臭气体氧化成无害的物质，适合处理高浓度、气量大、不乱性强的有毒有害气体；
2、有效净化：通过光催化氧化可直接将空气中的有机废臭气体氧化成无害的物质，不留任何二次污染；
3、操纵简朴,利便，灯管需要10000小时（3、4年）更换一次；
4、氧化性强：半导体光催化具有氧化性强的特点，对臭氧难以氧化的某些有机物如三氯甲烷、四氯化炭、六氯苯、都能有效地加以分解，所以对难以降解的有机物具有特别意义，光催化的有效氧化剂是氢氧自由基（OH-）和超氧离子自由基（O2-、0-），其氧化性高于常见的臭氧、双氧水、高锰酸钾、次氯酸等；
5、广谱性：光催化氧化对从烃到羧酸的种类众多有机物都有效，即使对原子有机物如卤代烃、染料、含氮有机物、有机磷杀虫剂也有很好的去除效果，只要经由一定时间的反应可达到净化；
6、设备使用寿命长：设备由不锈钢材材料组成，在酸性气体中耐侵蚀。
光催化氧化废气处理适合低浓度废气净化、室内空气净化，工艺组合“水喷淋+光催化”，用的设备分别是“废气洗涤塔+光催化氧化废气处理设备”，广泛用于病院、实验室空气净化，市政污水处理厂除臭、污水泵站除臭、产业车间除臭、烘干工艺废气、垃圾中转站废气，设备分有臭氧和无臭氧两类。
