工业废气包括有机废气和无机废气。有机废气主要包括各种烃类、醇类、醛类、酸类、酮类和胺类等；无机废气主要包括硫氧化物、氮氧化物、碳氧化物、卤素及其化合物等。工业废气处理是根据其排风量、温度、浓度及本身化学物理性质其治理方法各不相同。
蓄热式热氧化器采用热氧化法处理中低浓度的有机废气，用陶瓷蓄热床换热器回收热量。由陶瓷蓄热床、自动控制阀、燃烧室和控制系统等组成。主要特征是：蓄热床底部的自动控制阀分别与进气总管和排气总管相连，蓄热床通过换向阀交替换向，将由燃烧室出来的高温气体热量蓄留，并预热进入蓄热床的有机废气，蓄热床采用陶瓷蓄热材料吸收、释放热量；预热到一定温度（≥760℃）的有机废气在燃烧室燃烧发生氧化反应，生成二氧化碳和水，得到净化。
典型的两床式RTO主体结构一个燃烧室、两个陶瓷填料床和四个切换阀组成（见下图）。该装置中的蓄热式陶瓷填充床换热器可使热能得到回收，热回收率大于95%；废气处理厂家在处理有机废气时不用或使用很少的燃料。在处理大流量低浓度的有机废气时，运行成本非常低。
